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传统电涡流传感器基于端面型电涡流效应,被测面半径不足探头线圈半径3倍条件下性能显著下降,用于大量程测量时具有体积大的缺点。新型轴向电涡流传感器则能够同时满足小体积、高精度、长位移的需求。
轴向电涡流传感器(ECS)将线圈置于空心金属圆柱内部,如下图所示:

线圈截面产生的涡流效应,如下图所示。当线圈通入交变电流I1,在线圈与金属导体之间会产生垂直于截面向内的磁场B1,当金属导体垂直于截面方向移动时,磁通量会随金属导体位置的改变而改变。根据法拉第电磁感应定律变化的磁场会在闭合导体表面产生感应电涡流I2,在感应电涡流I2内部会形成新的垂直于截面向外的磁场B2,由楞次定律可知,B1和B2的方向相反,磁场B2会与磁场B1相互抵消部分,从而导致传感器阻抗Z、品质因数Q变化。随着被测体沿线圈轴向移动,线圈两端电压发生变化,从而实现对位移的测量。不同于端面型ECS,基于轴向电涡流效应的传感器使用空心金属圆柱代替被侧面,减少了对空间的需求,满足精密光学调焦组件对于长位移、小体积、高精度的需求。

ECS可以等效为如下图所示的电路图。把形成的涡流看作短路环中的电流,线圈和金属导体形成耦合电感。耦合电感的互感系数M受线圈与金属导体之间的距离h 影响,随着h减小而增大。

如下图,探头线圈1和2的材料选择铜,被测金属圆筒选取材料铝。当移动的被测筒体在0mm时,探头线圈X1和X2与被测体距离相等,此时两探头线圈电压差为零。



轴向电涡流效应的高精度长位移传感器在达到24mm量程时,线性度优于1%,分辨率优于0.5μm,精度优于1μm,适合精密光学调焦组件等要求体积小、位移大一类的应用。








传统电涡流传感器基于端面型电涡流效应,被测面半径不足探头线圈半径3倍条件下性能显著下降,用于大量程测量时具有体积大的缺点。新型轴向电涡流传感器则能够同时满足小体积、高精度、长位移的需求。
轴向电涡流传感器(ECS)将线圈置于空心金属圆柱内部,如下图所示:

线圈截面产生的涡流效应,如下图所示。当线圈通入交变电流I1,在线圈与金属导体之间会产生垂直于截面向内的磁场B1,当金属导体垂直于截面方向移动时,磁通量会随金属导体位置的改变而改变。根据法拉第电磁感应定律变化的磁场会在闭合导体表面产生感应电涡流I2,在感应电涡流I2内部会形成新的垂直于截面向外的磁场B2,由楞次定律可知,B1和B2的方向相反,磁场B2会与磁场B1相互抵消部分,从而导致传感器阻抗Z、品质因数Q变化。随着被测体沿线圈轴向移动,线圈两端电压发生变化,从而实现对位移的测量。不同于端面型ECS,基于轴向电涡流效应的传感器使用空心金属圆柱代替被侧面,减少了对空间的需求,满足精密光学调焦组件对于长位移、小体积、高精度的需求。

ECS可以等效为如下图所示的电路图。把形成的涡流看作短路环中的电流,线圈和金属导体形成耦合电感。耦合电感的互感系数M受线圈与金属导体之间的距离h 影响,随着h减小而增大。

如下图,探头线圈1和2的材料选择铜,被测金属圆筒选取材料铝。当移动的被测筒体在0mm时,探头线圈X1和X2与被测体距离相等,此时两探头线圈电压差为零。



轴向电涡流效应的高精度长位移传感器在达到24mm量程时,线性度优于1%,分辨率优于0.5μm,精度优于1μm,适合精密光学调焦组件等要求体积小、位移大一类的应用。









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